Tipo
Chemical vapor deposition
Tipo di macchina
Chemical vapor deposition
Video in uscita-ispezione
Fornito
Macchine Rapporto di Prova
Fornito
Tipo di Marketing
Prodotto caldo 2019
Garanzia di componenti di base
1 ANNO
Componenti di base
Pompa, Di potenza RF
Punto d'origine
Henan, China
Chiave di Punti di Vendita
Prezzo competitivo
Showroom Posizione
Nessuno
Rivestimento
Rivestimento vuoto
Dimensione (L*W*H)
1100 millimetri * 800 millimetri * 1100 millimetri
Nome del prodotto
PECVD di vuoto macchina di rivestimento
Applicazione
Deposizione di film sottili di nitruro di silicio, in silicio amorfo
Camera di materiale
In acciaio inox
Dimensioni camera
Diam300mm X 300 millimetri
Finestra di visualizzazione
Diam100mm con deflettore
Pompa a vuoto
Rotativo a palette pompa + Turbo pompa molecolare
Limitazione di vuoto
10-6Pa
Vuoto (deposizione)
0.133 ~ 133Pa
Di potenza RF
13.56MHz,500W (automatch)
Controllo di flusso
Di massa misuratore di portata (di default Ar,0 ~ 200sccm)
Dopo-Servizio di vendita Fornito
Video di supporto tecnico, Supporto on-line
Dopo il Servizio di Garanzia
Video di supporto tecnico, Supporto on-line
Posizione di Servizio locale
Nessuno