Tipo
Sputtering a tre bersagli magnetron con camera di transizione Video in uscita-ispezione
Macchine Rapporto di Prova
Garanzia di componenti di base
Chiave di Punti di Vendita
Sputtering a tre teste magnetron con camera di transizione Rivestimento
Rivestimento sputtering Magnetron Tipo di macchina
Rivestimento Attrezzature Nome del prodotto
Sputtering a tre bersagli magnetron con camera di transizione Parole chiave
Spalmatore sputtering a tre bersagli DC & RF magnetron Tensione di alimentazione
Metodo di raffreddamento
Raffreddamento ad acqua + raffreddamento ad aria Bersaglio
3-set,2 pollici di spessore max.3mm Sottovuoto composito
Misuratore di resistenza + intervallo di misurazione del misuratore di ionizzazione: 10-5 Pa ~ 105 Pa Alimentatore
2 set DC 600W 1 set RF 500Wa