macchina di vuoto -------La serie di TEMD di macchina di rivestimento ottica del elettrone-fascio è pricipalmente per il multi-rivestimento, producendo il filtro, pellicola riflettente, pellicola della trasmissione. Secondo la necessità di aumentare o migliorare la distribuzione degli elementi selezionati quali i pulsometri, pompe criogeniche; Ripartizione della presa a bassa temperatura dell'alloggiamento di vuoto; controllo di spessore usando il regolatore di spessore del cristallo di quarzo; fonti ione-aiutate di deposito, quale il bombardamento di rf. Materie prime senza restrizione di evaporazione del fascio elettronico: evaporazione e gamma di registrazione di tasso di evaporazione del fascio elettronico di densità di alto potere: uso di fusione del crogiolo di evaporazione dell'acqua o materiali parziali di evaporazione, materiali da imballaggio per evitare i materiali di deposito e di evaporazione e materiale da imballaggio, reazione fra le pellicole di elevata purezza. Applichi agli istituti di ricerca scientifici ed alle imprese di produzione ottica della pellicola sottile.
Scriv | TEMD-550 | TEMD-650 | TEMD-800 | |
Dimensione dell'alloggiamento di vuoto | Φ550×H600 millimetro | Φ650×H700 millimetro | Φ800×H800 millimetro | |
Più alto vuoto raggiunto | PA 6×10-5 | |||
Velocità di pompaggio | Minuto di pompaggio time≤20, da pressione atmosferica a 2×10-3Pa | |||
Fonte di evaporazione | Potere della pistola di elettrone | 6 CHILOWATT | ||
Volume del crogiolo | foro 20 ml×4 | |||
Potere dell'evaporazione di resistenza | 2.5 CHILOWATT | |||
Elettrodi di raffreddamento ad acqua | Due accoppiamenti (volatilizzi alternativamente) | |||
Temperatura di cottura | 300 °C (mezzi di riscaldamento tubolari) | |||
Trucco del sistema di vuoto | Sistema di pompaggio molecolare di 1600 L/S | Sistema di pompaggio molecolare di 1600 L/S | Sistema di pompaggio di diffusione K-600 | |
Misura di spessore di pellicola | Monitor di spessore di pellicola dell'oscillatore di quarzo | |||
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