Metodi del rivestimento

Magnetron di rf che polverizza/polverizzazione bipolare asimmetrica del magnetron di impulso

Tipi della pellicola

Metal le pellicole, le pellicole dielettriche, le pellicole di reazione, pellicole di ossido

Alimentazione elettrica

alimentazione elettrica di impulso;
Alimentazione elettrica di rf

Struttura dell'obiettivo di polverizzazione

obiettivo magnetico permanente
obiettivo magnetico del resever

Alloggiamento di vuoto

Pre-apra le strutture verticali, sistemi di pompaggio di Postposition

Più alto vuoto raggiunto

Pompa molecolare (PA 6.6×10-5); Pompa di diffusione (PA 6.6×10-4)

Pulsometri

Pompa molecolare + pompa meccanica

Velocità di pompaggio

Minuto di pompaggio time≤20, da pressione atmosferica a 10-3Pa

Uniformità della pellicola

Le fluttuazioni dello spessore di pellicola sono meno di 5%

Modo di funzionamento del pezzo in lavorazione

Giro, 0? cambio di velocità stepless di 20 giri/min. (registrabile e controllabile)

Misura di vuoto

Calibri di vuoto compositi di Digitahi

Controllo di vuoto

Controllo manuale disponibile di /PLC/PLC +HMI

Controllo di flusso del gas

Controllo di flusso del gas delle 2-3 strade

Protezione

L'allarme e la protezione automatica funzionano per svuotamento dell'acqua, flusso anormale, sopra circolare corrente, sulla tensione ed arresto elettrico, ecc.

Parametri di base

Power≥12KW; Zona servita: 10m2

Dispositivi facoltativi

Monitor di spessore di pellicola dell'oscillatore di quarzo, fonte di ione del Corridoio, polarizzazione negativa, raffreddamento ad acqua & riciclare della macchina