Tipo

ZHD450 A

ZHD450 B

ZHD450 C

Metodo del rivestimento

Rivestimento di evaporazione di resistenza

Rivestimento di evaporazione del fascio elettronico/di resistenza

Evaporazione di resistenza + polverizzazione del magnetron

Tipi della pellicola

Pellicole organiche o pellicole ecc. del metallo.

Pellicole a più strati, varie pellicole del filtrante, pellicole di riflessione, pellicole della trasmissione? ecc.

Singole pellicole della sostanza, pellicole a semiconduttore, pellicole organiche, pellicole di ossido, pellicole di reazione, pellicole dielettriche, pellicole a semiconduttore, dispositivi di OLED, ecc.

Alimentazione elettrica

Alimentazione elettrica di Evapourate

Alimentazione elettrica di Evapourate, alimentazione elettrica della pistola di elettrone

Alimentazione elettrica di Evapourate, alimentazione elettrica di impulso

Elettrodi ed obiettivi

elettrodi

elettrodi, e-tipo pistola di elettrone

elettrodi, obiettivo di polverizzazione del magnetron dell'aereo circolare

Controllo di vuoto

Manuale disponibile/controllo PLC+HMI/del PLC (facoltativo)

Dimensione dell'alloggiamento di vuoto

Φ450×H500 millimetro

Alloggiamento di vuoto

Pre-apra le strutture verticali, sistemi di pompaggio di Postposition, manuali spingere-e-tirano il modo

Pulsometri

Pompa diffusione/molecolare + pompa meccanica

Velocità di pompaggio

Pompando time≤20 minuto (minuto molecolare)/50 (pompa della pompa di diffusione), da pressione atmosferica a 10-3Pa

Uniformità della pellicola

Le fluttuazioni dello spessore di pellicola sono meno di 5%

Struttura degli elettrodi

Elettrodi di raffreddamento ad acqua

Temperatura di cottura del pezzo in lavorazione

Registrabile e controllabile dalla temperatura ambiente 300 a °C (controllo di temperatura di PID)

Movimento del pezzo in lavorazione

0-20 giri/min. registrabili e giro/rotazione stepless controllabili del cambio di velocità

Misura di vuoto

Due calibri di vuoto compositi digitali

Protezione

L'allarme e la protezione automatica funzionano per svuotamento dell'acqua, flusso anormale, sopra circolare corrente, sulla tensione ed arresto elettrico, ecc.

Parametri di base

Chilowatt Power≥12; Zona servita: 12 m2; Peso: ~1200 chilogrammi

Dispositivi facoltativi

Monitor di spessore di pellicola dell'oscillatore di quarzo, raffreddamento ad acqua & riciclare della macchina