Dimensione dell'alloggiamento

Raffreddamento ad acqua di doppio-strato di Φ600×H600 millimetro

Alimentazione elettrica

alimentazione elettrica bipolare di impulso, alimentazione elettrica dell'obiettivo dell'multi-arco, alimentazione elettrica di evaporazione, alimentazione elettrica elettromagnetica

Alloggiamento di vuoto

Pre-apra le strutture verticali, sistemi di pompaggio di Postposition

Metodi del rivestimento

Magnetron che polverizza (obiettivo elettromagnetico, obiettivo piano cilindrico, obiettivo rettangolare) + placcatura di placcatura +Evaporation dello ione dell'Multi-arco

Polarizzazione negativa

facoltativo

Supporto del pezzo in lavorazione

Raffreddamento ad acqua disponibile, riscaldante, giro del cambio di velocità di 0-20 giri/min./rotazione stepless registrabili, controllo di spessore di pellicola  

Pulsometri

Pompa molecolare + pompa meccanica/pompa di diffusione + pompa meccanica

Più alto vuoto raggiunto

Pompa molecolare (PA 6.6×10-5); Pompa di diffusione (PA 6.6×10-4)

Velocità di pompaggio

Minuto di pompaggio time≤20, da pressione atmosferica a 10-3Pa

Uniformità della pellicola

Le fluttuazioni dello spessore di pellicola sono meno di 5%

Temperatura di cottura del pezzo in lavorazione

Registrabile e controllabile dalla temperatura ambiente 300 a °C (controllo di temperatura di PID)

Controllo di vuoto

Manuale disponibile/controllo del PLC/PLC + di HMI/PC (facoltativo)

Controllo di flusso del gas

3-5 controllo di flusso del gas della strada

Protezione

L'allarme e la protezione automatica funzionano per il waterdepletion, il flusso anormale, sopra circolare corrente, sulla tensione, sull'arresto andelectrical, ecc.

Parametri di base

Chilowatt Power≥20; Zona servita: 12 m2

Dispositivi facoltativi

Monitor di spessore di pellicola dell'oscillatore di quarzo, ionsource del Corridoio, raffreddamento ad acqua & riciclare della macchina, pompa di aria, pulizia di Anti-polverizzazione