Tipo

PECVD-200

PECVD-450

PECVD-650

Dimensione dell'alloggiamento di deposito

Φ230×H300 millimetro

Φ450×H400 millimetro

Φ650×H600 millimetro

Dimensione della piattaforma del substrato

Φ100×10 millimetro

Φ120×12 millimetro

Φ150×15 millimetro

Tasso di rotazione della piattaforma del substrato

0-20 giri/min. (registrabili)

Alimentazione elettrica

Alimentazione elettrica di rf

Pulsometri

Pompa molecolare + pompa meccanica

Più alto vuoto raggiunto

6. PA 6 ×10-5

Tipi della pellicola

Dielettrico/semiconduttore/a film metallico

Controllo di flusso del gas

3-4 controllo di flusso del gas della strada (facoltativo)

Alloggiamento di vuoto

Pre-apra le strutture verticali, sistemi di pompaggio di Sotto-posizione

Velocità di pompaggio

Minuto di pompaggio time≤30, da pressione atmosferica a 10-3Pa

Uniformità della pellicola

Le fluttuazioni dello spessore di pellicola sono meno di 5%

Misura di vuoto

Calibri di vuoto compositi di Digitahi, misura di vuoto che varia dalla pressione atmosferica al PA 10-6

Controllo di vuoto

Manuale disponibile/controllo PLC+HMI/del PLC (facoltativo)

Protezione

L'allarme e la protezione automatica funzionano per svuotamento dell'acqua, flusso anormale, sopra circolare corrente, sulla tensione ed arresto elettrico, ecc.

Parametri di base

Chilowatt Power≥10; Zona servita: 4-20 m2; Peso 100-800 chilogrammi

Dispositivi facoltativi

Raffreddamento ad acqua & riciclare della macchina, analizzatore di gas residuo